| 发明名称 | 湿式清洗装置的冷却结构 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种可防止用于划分多个处理槽之间的隔壁的变形和破损的湿式清洗装置的冷却结构。所述湿式清洗装置的冷却结构包括：用于划分处理槽之间的隔壁；和安装在隔壁的上端的冷却水供应部，该冷却水供应部具有从隔壁的侧面相隔离的部位向隔壁倾斜地喷射冷却水的喷水孔。 | ||
| 申请公布号 | CN101419909A | 申请公布日期 | 2009.04.29 |
| 申请号 | CN200810170613.4 | 申请日期 | 2008.10.22 |
| 申请人 | K.C.科技股份有限公司 | 发明人 | 李泰雨;李东性 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭鸿禧;邱 玲 |
| 主权项 | 1、一种湿式清洗装置的冷却结构，包括：用于划分处理槽之间的隔壁；以及布置于所述隔壁的上端的冷却水供应部，该冷却水供应部具有从所述隔壁的侧面相隔离的部位朝所述隔壁倾斜地喷射冷却水的喷射孔。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道安城市 | ||