| 发明名称 | 一种在宽温度范围内抗高温腐蚀的CrN/CrAlN防护涂层及制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于表面工程技术，具体是一种在宽温度范围内抗高温腐蚀的CrN/CrAlN防护涂层及制备方法，在高温合金表面制备CrN/CrAlN涂层，采用Cr靶、Al靶直流反应共溅的方式获得CrN/CrAlN涂层，基片温度为室温-300℃，Ar和N<sub>2</sub>采用质量流量计控制，其流量分别为6-20 SCCM(标准立方厘米每分钟)和6-20 SCCM，工作气压为0.1-0.8Pa。通过调节Cr靶和Al靶的功率比来控制涂层中的Al含量，为提高涂层和基体间结合力，在基体上施加0--150V的基体负偏压。所获得的涂层内层为CrN层，外层为Al含量呈梯度分布的Cr-Al-N层。涂层在800-900℃空气中氧化后主要形成固溶有Al的Cr<sub>2</sub>O<sub>3</sub>膜，在1000℃以上氧化时形成富Al氧化膜。热腐蚀实验表明CrN/CrAlN涂层具有很好的抗热腐蚀性能。应用本发明可提高高温合金在较宽的温度范围内抗氧化和热腐蚀性能。 | ||
| 申请公布号 | CN100482855C | 申请公布日期 | 2009.04.29 |
| 申请号 | CN200610045989.3 | 申请日期 | 2006.03.08 |
| 申请人 | 中国科学院金属研究所 | 发明人 | 李美栓;朱明;周延春 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 张志伟 |
| 主权项 | 1、一种在宽温度范围内抗高温腐蚀的CrN/CrAlN防护涂层，其特征在于：所述涂层内层为CrN，而外层为Al含量呈梯度分布的Cr-Al-N层，化学式为Cr1-xAlxN，其中Al含量x值变化范围0-0.82，呈梯度变化，在靠近涂层表面达到最大值Cr0.18Al0.82N，CrN/CrAlN防护涂层在宽温度范围内抗氧化和抗高温腐蚀，宽温度范围为600-1100℃。 | ||
| 地址 | 110016辽宁省沈阳市沈河区文化路72号 | ||