薄膜晶体管的制造方法

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管及其生产方法，其中在衬底上形成非晶硅，在非晶硅层上形成包含有根据其厚度而具有不同浓度的金属催化剂的覆盖层，构图该覆盖层以形成覆盖层图形，并且结晶该非晶硅层，以控制在非晶硅层和覆盖层图形之间的界面形成的籽晶的密度和位置，从而提高颗粒的尺寸和均匀性，并且在其中通过一个结晶工艺，在要求的位置选择性地形成要求的尺寸和均匀性的多晶硅，形成具有卓越的和所要求的特性的薄膜晶体管。

主权项

1. 一种制造薄膜晶体管的方法，包括：准备一个衬底；在衬底上形成非晶硅层；在非晶硅层上形成含有金属催化剂的覆盖层；构图所述覆盖层；以及对衬底进行退火以将非晶硅层结晶成多晶硅层。