| 发明名称 |
Semiconductor device and manufacturing method thereof |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1903611(A3) |
申请公布日期 |
2009.04.29 |
| 申请号 |
EP20070116351 |
申请日期 |
2007.09.13 |
| 申请人 |
PANASONIC CORPORATION |
发明人 |
KUDO, CHIAKI;OGAWA, HISASHI |
| 分类号 |
H01L29/423;H01L21/28;H01L21/768;H01L21/8238 |
主分类号 |
H01L29/423 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
