发明名称 | 推片机 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种推片机,涉及电子器件的制造技术。解决了现有技术中在不同的晶舟盒之间转移硅片的过程中易发生硅片冲撞,导致硅片损坏的技术问题。本实用新型所提供的推片机,包括推挡件和支撑台,所述推挡件设在所述支撑台上。本实用新型应用于在不同的晶舟盒之间转移硅片。 | ||
申请公布号 | CN201229935Y | 申请公布日期 | 2009.04.29 |
申请号 | CN200820108532.7 | 申请日期 | 2008.06.16 |
申请人 | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 | 发明人 | 林大野 |
分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B65G47/82(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 | 代理人 | 申 健 |
主权项 | 1、一种推片机,其特征在于:包括推挡件和支撑台,所述推挡件设在所述支撑台上。 | ||
地址 | 100871北京市海淀区成府路298号方正大厦5层 |