金属蒸汽真空弧离子源用压夹持式阴极结构

摘要

一种用于金属蒸汽真空弧离子源的压夹持式的阴极结构。要点是采用压夹持式结构，固定阴极材料。在底环上分别有内压环和外压环，内压环和外压环配合面为角度相同的锥面。内压由铝制造，环上有适当距离的收缩缝。阴极材料通过内压环中心孔。当紧固外压环时，内压环通过与外压环的配合面而受到压力从而适当收缩，对阴极材料施加夹持力，压紧从而固定阴极材料在底环上。由于采用压夹持方式，不需要对阴极材料进行镙纹加工，因此，一些难于进行镙纹加工的导电固体材料也可以用于金属蒸汽真空弧离子源，从而增加金属蒸汽真空弧离子源产生的离子种类。

主权项

1. 一种金属蒸气真空弧离子源用压夹持式的阴极结构，其特征在于采用外压环、内压环将阴极材料压夹紧固在底环上。