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发明名称 Illumination optical system and exposure apparatus having the same
摘要
申请公布号 EP1522893(B1) 申请公布日期 2009.04.29
申请号 EP20040023064 申请日期 2004.09.28
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ORINO, KANJO
分类号 G02B19/00;G03F7/20;G02B13/00;G02B13/18;G02B13/22;H01L21/027 主分类号 G02B19/00
代理机构 代理人
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