| 发明名称 | 一种消除隔行字线桥接的方法 | ||
| 摘要 | 本发明一种消除隔行字线桥接方法，在存储阵列周围排列虚拟单元，这样就使得在晶圆的生产过程中，隔行字线桥接就不会发生，并且不对晶圆的功效产生任何的影响。本发明能有效地消除隔行字线桥接，提高晶圆的良率。 | ||
| 申请公布号 | CN101419960A | 申请公布日期 | 2009.04.29 |
| 申请号 | CN200710047356.0 | 申请日期 | 2007.10.24 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 王永刚;常建光 |
| 分类号 | H01L23/522(2006.01)I;H01L27/108(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/522(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈 蘅;李时云 |
| 主权项 | 1、一种消除隔行字线桥接的方法，其特征在于，在存储阵列的周围排列虚拟单元。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江路18号 | ||