用于微机械式环形谐振器的温度补偿装置和方法

摘要

一时基，其包括一个谐振器(4)和一个用于驱动该谐振器(4)发生振荡以便随此振荡产生具有确定频率的信号的集成电子电路，所述谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4)，所述时基的特征在于，多个电极(100，120；130，150)设置在所述独立式振荡构件(6)之下，以在基本上垂直于所述衬底(2)的一平面中，并且具有与所述旋转振荡模式的谐振频率不同的谐振频率这样的方式驱动和检测垂直振荡模式，两个振荡模式的谐振频率之间的频率差别用于补偿温度对由所述时基产生的所述信号的频率的影响。

主权项

1. 一时基，其包括一个谐振器(4)和一个用于驱动该谐振器(4)发生振荡以便随此振荡产生具有确定频率的信号的集成电子电路(3)，所述谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4)，该环形谐振器(4)支承在一衬底(2)的上方，并且适宜于根据旋转振荡模式绕着与所述衬底垂直的旋转轴(O)发生振荡，所述环形谐振器(4)包括：一中央立柱(5)，其从所述衬底(2)沿所述旋转轴(○)伸出；一独立式振荡构件(6)，其连接到所述中央立柱(5)，且包括与所述旋转轴(○)共轴且通过多个弹性元件(62)连接到所述中央立柱(5)上的一外环(60)；和设置在所述外环(60)周围且与所述集成电子电路(3)连接的电极构件(9，9*)，所述时基的特征在于，多个电极(100，120；130，150)设置在所述独立式振荡构件(6)之下，以便能够驱动和检测垂直振荡模式，所述垂直振荡模式处于垂直于所述衬底(2)的一平面中，并且具有与所述旋转振荡模式的谐振频率不同的谐振频率，两种振荡模式的谐振频率之间的频率差别用于补偿温度对由所述时基产生的所述信号的频率的影响。