减少在垫片上的粘性流体层中的气体的方法

摘要

本发明涉及一种通过减少在一垫片上粘性流体层中的气泡来减少刻印层上图案变形的方法。为此，该方法包括改变靠近粘性流体的气体的传送状况。具体来说，在复制图案的垫片附近的环境中充满相对于所放置的粘性流体或者具有高度溶解性、或者具有高度分散性、或者两者兼有的气体。另外，或者作为上述使环境充满气体的替代方案，可减小环境的压力。

主权项

1. 一种减少在一其上将要刻印一图案的垫片上的粘性流体层中的气体的方法，所述方法包括：改变毗邻所述粘性流体的所述气体的传送，以增加所述气体在所述粘性流体中的所述传送，其中，所述传送表示任何使所述气体通过所述垫片上的刻印材料的传播得到增加的机理。