| 发明名称 | 测量材料层厚度的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明描述了一种通过微波传感器(13)测量第一材料层的厚度的方法，所述方法包括：通过微波传感器(13)获得第一材料层的至少一个频率响应；为不同温度值(Tamb，T1，T2，T3)下的第二材料样本设置(30)微波传感器(13)，以获得参考数据(CD，X，Y，S)；利用参考数据(CD，X，Y，S)，作为第一材料电导率的函数来校准(31)微波传感器(13)；通过温度传感器(14)测量(32)第一材料层的温度(Tm)；根据频率响应确定(33)测量参数(F1_m，F2_m，Amin_m)；以及利用测量参数(F1_m，F2_m，Amin_m)来处理(33)参考数据(CD，X，Y，S)以获得第一材料层的厚度的测量值(Sm)。 | ||
| 申请公布号 | CN101421583A | 申请公布日期 | 2009.04.29 |
| 申请号 | CN200680053923.7 | 申请日期 | 2006.11.06 |
| 申请人 | S.A.朱塞佩克里斯蒂尼有限公司 | 发明人 | 乔维尼·克里斯蒂尼 |
| 分类号 | G01B15/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B15/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 郑小粤 |
| 主权项 | 1. 一种测量第一材料层的厚度的方法，该方法包括步骤：通过微波传感器(13)获得所述第一材料层的至少一个频率响应，并且其特征在于，还包括以下步骤：在不同温度值(Tamb，T1，T2，T3)下，为多个第二材料样本设置(30)所述微波传感器(13)，以便获得参考数据(CD，X，Y，S)；利用所述参考数据(CD，X，Y，S)将所述微波传感器(13)作为所述第一材料的导电率的函数进行校准(31)；通过温度传感器(14)测量(32)所述第一材料层的温度(Tm)；根据所述频率响应确定(33)所述第一材料层的测量参数(F1_m，F2_m，Amin_m)；以及利用所述测量参数(F1_m，F2_m，Amin_m)和所测得的温度(Tm)来处理(34)所述参考数据(CD，X，Y，S)，以获得所述第一材料层的所述厚度的测量值(Sm)。 | ||
| 地址 | 意大利米兰 | ||