一种多室真空镀膜装置

摘要

一种双端多室真空镀膜装置，包括镀膜室、真空预备室和工件架车，在真空预备室的边侧部设有工件装卸台，真空预备室内设有两条工件架车转运轨道，在真空预备室的左右两端各连接有至少一个镀膜室，在所述的镀膜室内设有环形轨道，环形轨道分别通过轨道切换机构与工件架车转运轨道对接，工件装卸台设有“U”形传输轨道，“U”形传输轨道的两端与两条工件架车转运轨道横向相交，在相交处设有变轨装置和轨道槽，真空预备室与镀膜室和工件装卸台之间分别设有真空锁和门阀，真空预备室和镀膜室都与抽真空系统相连接。借助中间的真空预备室，可实现单机节拍式真空镀膜。在生产过程中镀膜室不暴露大气，缩短了生产周期，提高了生产效率，提高了膜层质量。

主权项

1. 一种多室真空镀膜装置，其特征在于：包括镀膜室、真空预备室和工件架车，真空预备室的端部至少连接有一个镀膜室，在每个镀膜室内都设有环形轨道，用于工件架车在镀膜室内旋转进行镀膜作业；在真空预备室内并排设有两条工件架车转运轨道，两条工件架车转运轨道的端部通过轨道切换机构分别与每一个镀膜室内的环形轨道对接；真空预备室与每个镀膜室之间都设有真空锁，真空预备室和每个镀膜室都与抽真空系统相连接，实现真空预备室与每个镀膜室之间在真空状态下进行工件架车的传输。