| 发明名称 |
Multiple sided robot blade for semiconductor processing equipment |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1085558(A3) |
申请公布日期 |
2009.04.29 |
| 申请号 |
EP20000308010 |
申请日期 |
2000.09.14 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SHANMUGASUNDRAM, ARULKUMAR;KARAZIM, MICHAEL P. |
| 分类号 |
B25J15/06;H01L21/00;B25J17/02;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683 |
主分类号 |
B25J15/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
