| 发明名称 | 用于检测分配器在基板上形成的糊状物图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于检测分配器在基板上形成的糊状物图案的方法，该方法包括以下步骤：将基板放置在工作台上；根据由测量单元实时测量的喷嘴与基板表面之间的相对距离，在基板上分配糊状物；储存从测量单元获得的关于相对距离的数据；选择与所储存的数据中落在预定范围外的数据相对应的点，并指定所选择的点作为检测点；将落在预定范围外的数据转换成位置值，并将分配头部移动至糊状物图案上的与位置值相对应的检测点上方的位置；以及在检测点处检测糊状物图案上是否存在缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN100483223C | 申请公布日期 | 2009.04.29 |
| 申请号 | CN200710079349.9 | 申请日期 | 2007.02.15 |
| 申请人 | 塔工程有限公司 | 发明人 | 朱允情;方圭龙;金钟相 |
| 分类号 | G02F1/1339(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I;C03C17/00(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/1339(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 章社杲;吴贵明 |
| 主权项 | 1. 一种用于检测分配器在基板上形成的糊状物图案的方法，该方法包括以下步骤：将所述基板放置在工作台上；根据喷嘴与所述基板的表面之间的由测量单元实时测量的相对距离，在所述基板上分配所述糊状物；储存从所述测量单元获得的关于所述相对距离的数据；选择与所储存的数据中落在预定范围外的数据相对应的点，并指定所选择的点作为检测点；将落在预定范围外的所述数据转换成位置值，并将分配头部移动至糊状物图案上的与所述位置值相对应的所述检测点上方的位置；以及在所述检测点处检测糊状物图案上是否存在缺陷。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||