发明名称 |
多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法 |
摘要 |
本发明公开了多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法,对于作为原料的精馏系统产品液态氯硅烷和回收系统产品气态氢气,其特征在于:将液态氯硅烷通过蒸汽进行加热,加热后,液态氯硅烷变成气态氯硅烷,然后气态氯硅烷与氢气在静态混合器中混合,最后混合的氯硅烷和氢气进入氢还原炉进行下一步反应;本方法通过产品汽化器将液态氯硅烷加热变成气态,非常方便输送到静态汽化器中进行混合,而且在静态汽化器中混合比较安全;同时,通过调节阀、不同的流量计来控制氢气和氯硅烷的流量,所以非常容易控制氯硅烷、氢气的混合比例,还可以将氢气和氯硅烷的比例准确控制,控制直观、简单,主控人员容易驾驭。 |
申请公布号 |
CN101417802A |
申请公布日期 |
2009.04.29 |
申请号 |
CN200810147642.9 |
申请日期 |
2008.11.24 |
申请人 |
四川永祥多晶硅有限公司 |
发明人 |
戴自忠;易忠海 |
分类号 |
C01B33/03(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C30B28/14(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/03(2006.01)I |
代理机构 |
成都天嘉专利事务所(普通合伙) |
代理人 |
方 强 |
主权项 |
1、多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法,对于作为原料的精馏系统产品液态氯硅烷和回收系统产品气态氢气,其特征在于:将液态氯硅烷通过蒸汽进行加热,加热后,液态氯硅烷变成气态氯硅烷,然后气态氯硅烷与氢气在静态混合器中混合,最后混合的氯硅烷和氢气进入氢还原炉进行下一步反应。 |
地址 |
614800四川省乐山市五通桥竹根镇新华村 |