一种电容式微机械加速度计

摘要

电容式微机械加速度计包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形，质量块处于结构的四周，呈“回”字型。质量块中间含有两部分：一部分是弹性支撑，由两组折叠梁构成；另一部分是驱动电极和检测电极，以梳齿偏置结构构成差动电容。本发明能够在元件有限体积下实现较大的质量块，使加速度高效转化为惯性力，设计的弹性支撑结构和梳齿偏置式的静电驱动、电容检测提高了加速度计的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的测量。

主权项

1、一种电容式微机械加速度计，其特征在于：包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极和齿枢，整个结构为轴对称图形，质量块处于结构的四周，呈“回”字型；在所述质量块的外围，轴对称地设置两个止挡；质量块中间是弹性支撑、齿枢、驱动电极、检测电极，弹性支撑由上下对称的两个折叠梁构成，每个折叠梁的一端通过锚点与基片连接，另一端与质量块固连；驱动电极和检测电极以梳齿偏置结构构成差动电容，电容的活动极板与质量块连接，电容的固定极板与齿枢连接。