一种高温液态氯硅烷的输送方法

摘要

本发明公开了一种高温液态氯硅烷的输送方法，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，其特征在于：通过蒸汽将处于低位置的液态氯硅烷加热成气态氯硅烷，气态氯硅烷上升，然后通过RO水将气态氯硅烷冷凝成液态氯硅烷，冷凝后的液态氯硅烷位于高位置的罐内，然后通过调节阀和流量计来控制输送液态氯硅烷到下一个塔或罐；本方法采用再沸器和冷凝器的配合代替了屏蔽泵，这样不仅完全解决了汽蚀现象，而且通过氯硅烷的性态变化使得输送也非常方便，同时所传送的流量可以准确控制，流速平稳。

主权项

1、一种高温液态氯硅烷的输送方法，是对于多晶硅生产中的精馏、回收系统塔釜中的液态氯硅烷进行输送，其特征在于：通过蒸汽将处于低位置的液态氯硅烷加热成气态氯硅烷，气态氯硅烷上升，然后通过RO水将气态氯硅烷冷凝成液态氯硅烷，冷凝后的液态氯硅烷位于高位置的罐内，然后通过调节阀和流量计来控制输送液态氯硅烷到下一个塔或罐。