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System and method for high resolution optical imaging, data storage, lithography, and inspection
摘要
申请公布号
US7526158(B2)
申请公布日期
2009.04.28
申请号
US20020068449
申请日期
2002.02.07
申请人
UNIVERSITY OF ROCHESTER
发明人
NOVOTNY LUKAS;BROWN THOMAS G.
分类号
G02B6/26;G01Q60/18;G03F7/20
主分类号
G02B6/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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