| 摘要 |
Procédé de caractérisation de la surface d'une couche sensible déposée sur l a base d'un prisme optique, ladite surface comportant des zones actives dont l'épaisseur optique est susceptible de varier avec le temps, ledit procédé utilisant une technique fondée sur l'analyse de la variation de la réflectivité de l'interface prisme - couche sensible, dans lequel on fait entrer dans le prisme un faisceau lumineux collimaté avec un angle d'inciden ce permettant la réflexion totale sur la base du prisme, ledit faisceau éclaira nt une partie fixe de l'interface correspondant à une partie à caractériser, on effectue un balayage en angle de façon à repérer une incidence pour laquelle la réflectivité des zones actives est minimum, on détermine un angle d'incidence optimal pour la sensibilité de détection des zones actives, on règle l'incidence à la valeur optimale, et on mesure la réflectivité à l'aid e d'un système d'imagerie; et dispositif pour mettre en oeuvre ce procédé.</SD OAB>
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