研磨盘的修整方法及制造装置

摘要

一种研磨盘的修整方法及制造装置，本发明提供由非破坏性的盘评价方法定量检测最优的修整终点的方法。以规定时间修整研磨盘11(步骤50)，然后，利用由激光聚焦变位仪构成的光学测定装置20测定研磨盘11的表面粗糙度(凹凸)(步骤51)。然后，得到修整时间和研磨盘11的表面粗糙度的特性曲线(步骤52)。其次，求出所述修整时间和表面粗糙度的特性曲线的倾斜度(步骤53)，在该倾斜度达到预先设定的规定倾斜度时，结束修整。另一方面，在所述修整时间和表面粗糙度的特性曲线的倾斜度未达到规定的倾斜度时，从步骤50开始反复实行步骤53(步骤54)。

主权项

1、一种研磨盘的修整方法，其特征在于，以规定时间修整研磨盘，然后，反复进行由光学测定装置测定该研磨盘表面粗糙度的工序，当相对于所述研磨盘表面粗糙度的修整时间的特性曲线的倾斜度达到规定的倾斜度时，结束修整。