SENSOR DE GASES CON MICROCALEFACTOR POR CONTACTO DIRECTO Y METODO DE SENSADO

摘要

Sensor con calefactor conformado éste ultimo por una capa inferior de nitruro de silicio (NySix) una capa superior de nitruro de silicio (NySix) y una capa intermedia de silicio, en la cual se configura una cavidad inferior de forma sustancialmente paralelepípeda; conformándose por encima de dicha capa de NySix, una estructura de doble meandro en la que se definen al menos dos circuitos con respectivos contactos terminales y sobre la que apoya una capa sensible sensora, para llevarse a cabo las etapas de: a) Configurar el sensor en modo-calefactor, alimentando con corriente eléctrica al menos uno de los circuitos de la estructura de doble meandro por un tiempo predeterminado con el fin de calentar la capa sensora; b) cortar el suministro de corriente eléctrica de la estructura descripta en ôaö, configurando el sensor en modo extraccion de senal; c) excitar los contactos terminales con los niveles de polarizacion adecuados a la capa sensora; d) adquirir los datos de sensado mediante un equipo externo; e) repetir las etapas ôaö a ôcö durante el tiempo de sensado.