一种贵金属靶材的修复方法

摘要

本发明公开了一种贵金属靶材的修复方法，其方法为：将实施溅射后形成具有溅射损耗区的贵金属靶材进行碱洗除油，清水冲洗，无水乙醇脱水，用上部保护罩和底部保护罩对所述贵金属靶材实施惰性气体氩气保护，用氩弧焊枪的钨极使与靶材材质相同的丝材和靶材的局部熔化，并堆积在所述损耗区内，这样反复进行堆积，使所述损耗区逐渐堆平，最终成为堆积态。本发明方法易操作，过程简单，无污染，成本低；修复过程中贵金属材料几乎不损耗，能够实现靶材的反复使用，大幅度提高了靶材的利用率；修复后的靶材无裂纹，无气孔；填充的贵金属材料与原溅射靶的界面为焊接态的冶金结合，不会出现脱层等现象。

主权项

1. 一种贵金属靶材的修复方法，其特征在于：将实施溅射后形成具有溅射损耗区的贵金属靶材进行碱洗除油，清水冲洗，无水乙醇脱水，用位于所述贵金属靶材之上的上部保护罩和位于所述贵金属靶材底部的底部保护罩对所述贵金属靶材实施惰性气体氩气保护，用氩弧焊枪的钨极使与靶材材质相同的丝材和靶材的局部熔化，并堆积在所述损耗区内，这样反复进行堆积，使所述损耗区逐渐堆平，最终成为堆积态。