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经营范围
发明名称
SMALL FOOTPRINT MODULAR PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号
EP2049422(A2)
申请公布日期
2009.04.22
申请号
EP20070840479
申请日期
2007.07.23
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
MYO, NYI OO;POPPE, STEVEN;WHITE, ANTHONY;KRISHNA, NETY M.
分类号
B65G49/07
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
主权项
地址
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