XYZ轴台板

摘要

本发明提供了一种有线性马达的XYZ轴台板，该XYZ轴台板有基座、多个线性引导装置、工作台、X轴驱动线性马达、Y轴驱动线性马达以及Z轴驱动线性马达。该线性马达设置成由电枢以及能够相对于该电枢进行相对运动的活动元件构成。该线性马达还有：一个磁极齿排，该磁极齿排与电枢的一个磁极进行磁连接，并布置成沿与活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；以及另一磁极齿排，该磁极齿排与活动元件的另一磁极进行磁连接，并布置成沿与活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级和第二级；该一个磁极齿排的第一级磁极齿和该另一磁极齿排的第一级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，该一个磁极齿排的第二级磁极齿和该另一磁极齿排的第二级磁极齿相对于活动部件的运动方向交替布置，且活动元件布置在该一个和另一第一级磁极齿排以及该一个和另一第二级磁极齿排之间。

主权项

1. 一种XY轴台板，其带有线性马达，所述XY轴台板包括：基座；多个线性引导装置；工作台；X轴向驱动线性马达；以及Y轴向驱动线性马达；其中：所述线性马达设置成由电枢以及能够相对于该电枢进行相对运动的活动元件构成；以及所述线性马达还有：一个磁极齿排，该一个磁极齿排与所述电枢的一个磁极进行磁连接，并布置成沿与所述活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级磁极齿和第二级磁极齿；另一磁极齿排，该另一磁极齿排与所述电枢的另一磁极进行磁连接，并布置成沿与所述活动元件的运动方向基本垂直的方向分成第一级磁极齿和第二级磁极齿；以及同时对所述一个磁极齿排和所述另一磁极齿排进行激励的容纳于所述电枢中的线圈；所述一个磁极齿排的第一级磁极齿和所述另一磁极齿排的第一级磁极齿相对于所述活动元件的运动方向交替布置，所述一个磁极齿排的第二级磁极齿和所述另一磁极齿排的第二级磁极齿相对于所述活动元件的运动方向交替布置，且所述活动元件布置在所述一个和另一磁极齿排的第一级磁极齿以及所述一个和另一磁极齿排的第二级磁极齿之间；所述线性马达用作所述X轴向驱动线性马达和所述Y轴向驱动线性马达。