| 发明名称 | 表面检查方法及其装置 | ||
| 摘要 | 本发明的表面检查方法包括：用同一投影透镜，将波长不同的至少两个激光束照射到相同检查部位的步骤；设定两激光束的入射角，使各激光束的反射率值的变动互补的步骤；以及检测反射散射光的步骤。 | ||
| 申请公布号 | CN100480689C | 申请公布日期 | 2009.04.22 |
| 申请号 | CN200310122075.9 | 申请日期 | 2003.12.22 |
| 申请人 | 株式会社拓普康 | 发明人 | 矶崎久;佐藤卓司;榎本芳幸;前川博之 |
| 分类号 | G01N21/892(2006.01)I;G01N21/47(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/892(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨 凯;叶恺东 |
| 主权项 | 1. 一种表面检查方法，其中包括：用同一投影透镜，将波长不同的至少两个激光束照射到相同检查部位的步骤；设定两个激光束的入射角的步骤；以及检测反射散射光的步骤；其中所述入射角被设定成以使所述两个激光束的反射率值的变动互补，所述两个激光束的反射率值按照在检查部位上形成的膜的厚度变化以及按照所述膜的类型而变动。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||