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发明名称 Assembly comprising a sensor for determining at least one of tilt and height of a substrate, a method therefor and a lithographic projection apparatus
摘要
申请公布号 EP1457839(A3) 申请公布日期 2009.04.22
申请号 EP20040075784 申请日期 2004.03.10
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 BRINKHOF, RALPH;BOONMAN, MARCUS EMILE JOANNES;DE NIVELLE, MARTIN JULES MARIE-EMILE
分类号 G03F9/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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