用于功率器件的电荷平衡技术

摘要

一种电荷平衡半导体功率器件，包括：活性区域，包括被偏置于导电状态中时能够传导电流的多个单元；环绕活性区域的非活性周界区，其中，当多个单元被偏置于导电状态中时没有电流流过非活性周界区；交替布置的p柱的条带和n柱的条带，沿着容纳半导体功率器件的模片的长度延伸穿过活性区域和非活性周界区。

主权项

1. 一种电荷平衡半导体功率器件，包括：活性区域，包括被偏置于导电状态中时能够传导电流的多个单元；环绕所述活性区域的非活性周界区，其中，当所述多个单元被偏置于所述导电状态中时没有电流流过所述非活性周界区；以及形成在第二导电型的硅区中的交替布置的第一导电型柱的条带和第二导电型柱的条带，所述交替布置的第一导电型的条带和第二导电型的条带沿第一尺寸延伸穿过所述活性区域和所述非活性周界区。