基于声表面波的高输出功率二维微驱动器装置

摘要

本发明涉及一种微机电系统技术领域的基于声表面波的高输出功率二维微驱动器装置，包括上板、大永磁体、四个调节螺栓、小永磁体、滑块、二维驱动平台、下板，其中：四个调节螺栓关于上板下板中心连线对称分布并固定、调节上板和下板，大永磁体固定于上板正下方，小永磁体固定在滑块上，滑块放置在下板上，二维驱动平台上对称分布四组叉指电极对，在叉指电极对上面加载谐振频率的交流激励能实现对放置其上的滑块的驱动，调节四个调节螺栓控制上板与下板之间的距离，实现调节大、小永磁体之间的斥力大小，从而实现预载力的调节。本发明既可以实现二维驱动，又可以实现大的预载荷力，从而实现较高的输出功率。

主权项

1、一种基于声表面波的高输出功率二维微驱动器装置，其特征在于包括上板、大永磁体、四个调节螺栓、小永磁体、滑块、二维驱动平台、下板，其中：上板、大永磁体、小永磁体、滑块、二维驱动平台、下板自上而下依次设置，四个调节螺栓关于上板下板中心连线对称分布并固定、调节上板和下板，大永磁体固定于上板正下方，小永磁体固定在滑块上，滑块放置在下板上，二维驱动平台上对称分布四组叉指电极对，在叉指电极对上面加载谐振频率的交流激励能实现对放置其上的滑块的驱动，调节四个调节螺栓控制上板与下板之间的距离，实现调节大、小永磁体之间的斥力大小，从而实现预载力的调节。