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发明名称 Optical inspection tool featuring multiple speed modes
摘要
申请公布号 EP2023611(A3) 申请公布日期 2009.04.22
申请号 EP20080252419 申请日期 2008.07.16
申请人 NEGEVTECH LTD. 发明人 EITAN, GIORA;SILBERSTEIN, SHAI
分类号 G01N21/00;H04N5/232 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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