一种在锆表面渗镀铂薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种在锆表面渗镀铂薄膜的方法，其方法为：将经预处理后的锆工件置入带有加热装置的真空离子镀膜机，预抽真空至1×10^-3Pa，加热工件至500℃～800℃，保温一定时间，通入氩气，调节真空度至1～9×10^-1Pa，对工件加载负偏压800～2000V，开启装有铂溅射靶的溅射源；调节负偏压至100～500V，再沉积一定时间，关闭溅射源，直到锆工件温度低于100℃后取出。本发明通过控制镀膜工艺参数可制备0.1～10μm的铂扩渗层和0.1～50μm铂沉积层，制备的铂扩渗层与基体锆没有明显的界面，呈冶金结合。

主权项

1. 一种在锆表面渗镀铂薄膜的方法，将锆工件表面经过机械抛光、除油清洗和脱水烘干的预处理，其特征在于：将经预处理后的锆工件置入带有辅助加热装置的真空离子镀膜机，预抽真空至1×10-3Pa，加热工件至500℃～800℃，保温10～40min，通入氩气，调节真空度至1×10-1Pa～9×10-1Pa，对工件加载负偏压800～2000V，开启装有铂溅射靶的溅射源5～40min；调节负偏压至100～500V，再沉积10～200min，锆工件表面形成具有0.1～10μm的铂扩渗层和0.1～50μm沉积层的铂薄膜。