发明名称 | 电阻型热损失的压力感应器及操作方法 | ||
摘要 | 在电阻加热的热损失压力测量仪器中,电流是按在不同的工作周期在敏感元件和补偿元件之间切换的。因此,敏感元件相对于补偿元件是热的。固定电阻至少与补偿元件串联。电流源将电流应用于将敏感元件加热到敏感元件的电阻与补偿元件和固定电阻元件的组合电阻相匹配的温度。 | ||
申请公布号 | CN100480660C | 申请公布日期 | 2009.04.22 |
申请号 | CN200580025130.X | 申请日期 | 2005.07.19 |
申请人 | 布鲁克斯自动化有限公司 | 发明人 | 迈克尔·D·博雷斯坦;保罗·C·阿诺德 |
分类号 | G01L21/12(2006.01)I | 主分类号 | G01L21/12(2006.01)I |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 过晓东 |
主权项 | 1. 一种用来测量环境气体压力的热损失测量仪器,其中包括:暴露于环境之下的电阻型敏感元件;在有敏感元件的电路中暴露于环境之下的电阻型补偿元件;与敏感元件和补偿元件之间切换电流相连接的电源,其中被加到敏感元件上的电流要经历比被加到补偿元件上的电流长的工作周期,从而相对于补偿元件加热敏感元件;以及测定电路,该测定电路基于敏感元件和补偿元件的电响应确定敏感元件和补偿元件暴露于其中的环境气体压力。 | ||
地址 | 美国马萨诸塞州 |