表面轮廓检测装置及其检测方法

摘要

一种表面轮廓检测装置，其包括一个用于提供一平行光的光源组件，一个设置于光源组件的出射光的光路上的空间光调制器，一个设置于空间光调制器的出射光的光路上的分光镜，一个设置于分光镜的出射光的光路上的波前传感器以及一个与所述波前传感器及空间光调制器电气连接的控制处理器，其用于控制所述空间光调制器启闭每一个像素的出射光以及处理所述波前传感器输出的波前斜率值以取得所测试的待测物的表面轮廓。上述的表面轮廓检测装置在空间光调制器、分光镜以及波前传感器的配合作用下，能够不与待测物接触而取得待测物的表面轮廓，避免了对待测物表面造成损伤。本发明还涉及上述表面轮廓检测装置的检测方法。

主权项

【权利要求1】一种表面轮廓检测装置，其特征在于，其包括：一个光源组件，用于提供一平行光；一个空间光调制器，设置于光源组件的出射光的光路上，用于控制入射到该空间光调制器的每一个像素的出射光的启闭；一个分光镜，设置于空间光调制器的出射光的光路上，使空间光调制器的出射光通过该分光镜，到达被测物，并出射被测物反射的光；一个波前传感器，设置于分光镜的出射光的光路上，用于检测与空间光调制器的每一个像素所对应的且经待测物反射和由分光镜出射的出射光的波前斜率并输出该波前斜率值；一个控制处理器，与所述波前传感器及空间光调制器电气连接，用于控制所述空间光调制器启闭每一个像素的出射光以及处理所述波前传感器输出的波前斜率值以取得所测试的待测物的表面轮廓。