一种扫描电镜原位观察的全柔性三平移混联微动装置

摘要

本发明公开了一种扫描电镜原位观察的全柔性三平移混联微动装置。它包括底座(1、2)、样品台(3)、显微压头支架(4)以及压电陶瓷微驱动器(5a、5b、5c)，显微压头支架(4)位于样品台(3)上方，所述的全柔性三平移混联微动装置由二自由度的全柔性平面并联机构与单自由度的全柔性机构串联一起组成混联机构，二自由度的全柔性平面并联机构为x、y向微动平移结构，单自由度的全柔性机构为z向微动平移结构。采用上述结构的发明，不会引入润滑剂挥发产生的污染，还可避免振动冲击、摩擦磨损等缺陷；另外，避免了测试过程各种误差的积累，能够满足高精密要求。

主权项

1、一种扫描电镜原位观察的全柔性三平移混联微动装置，包括底座、样品台、显微压头支架以及压电陶瓷微驱动装置，显微压头支架位于样品台上方，其特征在于所述的全柔性三平移混联微动装置由二自由度的全柔性平面并联机构与单自由度的全柔性机构串联一起组成混联机构，二自由度的全柔性平面并联机构为x、y向微动平移结构，单自由度的全柔性机构为z向微动平移结构。