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经营范围
发明名称
Method for manufacturing a nanostructure
摘要
申请公布号
EP1643546(A3)
申请公布日期
2009.04.22
申请号
EP20050255966
申请日期
2005.09.26
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
MATSUO, YASUHIRO;ISHIBE, YOSHIHIRO;KIMURA, KAZUMI;NOMURA, KENTAROU
分类号
H01L21/316;C25D11/12
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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