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发明名称 Microelectromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
摘要
申请公布号 EP2012168(A3) 申请公布日期 2009.04.22
申请号 EP20080153252 申请日期 2008.03.25
申请人 QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 ENDISCH, DENIS;MIGNARD, MARC MAURICE
分类号 G02B26/00;B81B3/00 主分类号 G02B26/00
代理机构 代理人
主权项
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