Lithographic apparatus and device manufacturing method,申请号EP20040075693-传众专利搜索

发明名称	Lithographic apparatus and device manufacturing method
摘要
申请公布号	EP1455235(A3)	申请公布日期	2009.04.22
申请号	EP20040075693	申请日期	2004.03.03
申请人	ASML NETHERLANDS B.V.;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.	发明人	HENDRIKS, ROBERT FRANS MARIA;VAN DER LEE, ALEXANDER MARC;LENDERINK, EGBERT;'T HOOFT, GERT WIM;MONSHOUWER, RENE
分类号	G03F9/00;G03F7/20	主分类号	G03F9/00
代理机构		代理人
主权项
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