被分割体的分割起点形成方法、被分割体的分割方法

摘要

提供适于被分割体的分割的起点形成方法，通过用激光照射被分割体的方式进行。用能量尚未达到以烧蚀作用形成刻划槽程度的激光，在其焦点从被分割体M的上表面向其内部散焦20μm～30μm的状态下，向被分割体M的所要分割部位进行照射。用吸收导致的急速加热和之后的急速冷却，形成具有细长剖面形状的变质区域T。切割处理能够实现该变质区域T的最下端部成为起点的良好切割。而且，若将在所使用激光的波长范围内激光吸收率比被分割体M更高的物质，预先赋予给所要分割的部位，则由于只有该部位的激光吸收率被提高，所以即使用本来不会产生吸收现象的弱脉冲能量的激光进行照射，也能够可靠地形成成为分割起点的变质区域。

主权项

1. 一种被分割体的分割起点形成方法，在被分割体上形成用于分割的起点，其特征在于，包括作为形成上述起点的起点形成工序的变质区域形成工序，在该工序中，使YAG激光的三倍高次谐波的脉冲激光，在将焦点位置保持于上述被分割体的内部的状态下，沿着规定的扫描方向进行扫描，同时将上述脉冲激光向上述被分割体的被照射面照射，从而在从上述被分割体的上述被照射面到内部的区域形成熔化改性的变质区域，在上述变质区域形成工序中，以在垂直于上述扫描方向的剖面为上述被照射面上具有底边且将上述焦点位置作为顶点的三角形的区域内发生能量吸收的方式，利用上述脉冲激光进行照射，从而形成这样的上述变质区域，即，上述变质区域的垂直于上述扫描方向的剖面在比上述焦点位置更深的位置具有最下端部且上述变质区域与相邻的正常区域之间的界面的曲率接近于0的大致等腰三角形形状。