激光加工装置的激光束定位装置

摘要

在具有放置被加工物的台、激光振荡器和使激光束扫描的光束扫描装置并具备使激光束引导到在台上放置的被加工物上的光学装置、测量加工过的位置的测量装置和使用加工过的加工位置的坐标和目标位置的坐标来计算对光束扫描装置的指令值的控制装置的激光加工装置的激光束定位装置中，控制装置对加工过的加工位置的坐标和此时的对光束扫描装置的指令值附加与目标位置的坐标与加工位置的坐标的距离对应的权重来计算最佳地决定对使激光束指向被加工物的目标位置用的光束扫描装置的指令值的未知参数矩阵。

主权项

1. 一种激光加工装置的激光束定位装置，具备：放置被加工物的台；发射激光束的激光振荡器；引导激光束以使上述激光束照射到在上述台上放置的上述被加工物的光学装置；使由该光学装置引导的激光束扫描的光束扫描装置；测量上述被加工物的加工过的加工位置的测量装置；以及使用上述加工过的加工位置的座标和目标位置的座标来计算对上述光束扫描装置的指令值的控制装置，其特征在于：上述控制装置对上述加工过的加工位置的座标和对实现了该加工位置的光束扫描装置的指令值附加与上述目标位置的座标和上述加工位置的座标的距离对应的权重来计算最佳地决定对用于使上述激光束指向上述被加工物上的上述目标位置的上述光束扫描装置的指令值的未知参数矩阵。