发明名称 |
半导体装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种半导体装置及其制造方法,该半导体装置包括一绝缘层、一沟道结构、一绝缘结构及一栅极。沟道结构包括一沟道桥,沟道桥的底部与绝缘层相隔一间距,且沟道桥包括多个分离的掺杂区。绝缘结构包覆沟道桥,栅极包覆绝缘结构。 |
申请公布号 |
CN101414631A |
申请公布日期 |
2009.04.22 |
申请号 |
CN200810133633.4 |
申请日期 |
2008.07.16 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
赖二琨;吕函庭 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/792(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
周国城 |
主权项 |
1、一种半导体装置,其特征在于,该装置包括:一绝缘层;一沟道结构,包括一沟道桥连接两平台,该沟道桥的底部与该绝缘层相隔一间距,且该沟道桥包括多个分离的掺杂区;一绝缘结构,包覆该沟道桥;以及一栅极,包覆该绝缘结构。 |
地址 |
台湾省新竹科学工业园区力行路16号 |