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发明名称
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申请公布号 JP4256567(B2) 申请公布日期 2009.04.22
申请号 JP20000105133 申请日期 2000.04.06
申请人 发明人
分类号 C30B29/36;C30B23/00;H01L21/203 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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