| 发明名称 | 基板冷却方法以及基板冷却装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板冷却方法以及基板冷却装置，通过搬运辊搬运基板的同时更价格低廉并高效地冷却基板。冷却处理部(1C)在通过搬运辊(14)对加热处理之后的基板(S)进行搬运的同时，通过该搬运辊(14)冷却基板(S)。即，在通过搬运辊(14)搬运基板(S)的同时，通过喷嘴(26)向搬运辊(14)的内部喷洒常温的冷却水，该冷却水因所述搬运辊(14)所具有的热量而汽化(蒸发)并向外部排出，从而冷却搬运辊(14)，由此冷却基板(S)。 | ||
| 申请公布号 | CN101414546A | 申请公布日期 | 2009.04.22 |
| 申请号 | CN200810149010.6 | 申请日期 | 2008.09.18 |
| 申请人 | 大日本网屏制造株式会社 | 发明人 | 柿村崇 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 马少东;徐 恕 |
| 主权项 | 1. 一种基板冷却方法，对加热处理后的基板进行冷却，其特征在于，在通过搬运辊搬运所述基板的同时向该搬运辊的内部导入冷却用的液体，使该液体伴随所述搬运辊的旋转而汽化并将蒸汽排出到该搬运辊的外部，由此通过所述搬运辊冷却所述基板。 | ||
| 地址 | 日本京都府京都市 | ||