制造平板显示器的系统

摘要

在此公开了一种平板显示器(FPD)的制造系统，其包括一个或多个沿成行路线连续地移动衬底的衬底传送线、以及多个彼此叠置以用于载入和卸下完成处理后的衬底的载荷锁定腔，从而可对衬底进行有效的处理。

主权项

1. 一种平板显示器的制造系统，包括：至少一个用于对衬底进行期望加工的平板显示器制造设备，所述的平板显示器制造设备包括多个载荷锁定腔、单个供给腔、以及多个加工腔；以及一个适于通过沿预定方向连续地传送衬底而将所述衬底载入到所述的载荷锁定腔中以及从载荷锁定腔卸下的传送线，其中所述的多个载荷锁定腔包括彼此叠置的上载荷锁定腔和下载荷锁定腔，以及其中所述的传送线包括：一个位于所述载荷锁定腔前侧、并适于进行连续的衬底供应操作的载入传送带；一个位于所述载荷锁定腔后侧、并适于接收由所述载入传送带载入的衬底的卸下传送带；以及一个设置在所述载入传送带或卸下传送带的预定位置上、且适于将所述衬底升高到上载荷锁定腔的高度上或将所述衬底降低到下载荷锁定腔的高度上的竖直可动传送带。