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发明名称 METHOD FOR CLEANING TREATMENT CHAMBER IN SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING ENDPOINT OF CLEANING
摘要
申请公布号 KR100893955(B1) 申请公布日期 2009.04.20
申请号 KR20077026024 申请日期 2007.11.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B08B7/00;C23C16/44;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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