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发明名称 SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS OF SLIT COATER
摘要
申请公布号 KR20090003617(U) 申请公布日期 2009.04.20
申请号 KR20070016649U 申请日期 2007.10.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;H01L21/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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