| 发明名称 |
PROCEDE ET SYSTEME DE DETECTION D'AMAS DE DEFAUTS A LA SURFACE D'UN SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2911429(B1) |
申请公布日期 |
2009.04.17 |
| 申请号 |
FR20070000192 |
申请日期 |
2007.01.11 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME |
发明人 |
SCHWARZENBACH WALTER |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/95;H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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