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发明名称 ION DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 EP2044609(A1) 申请公布日期 2009.04.08
申请号 EP20070766170 申请日期 2007.07.06
申请人 AVIZA TECHNOLOGY LIMITED 发明人 PROUDFOOT, GARY;GEORGE, CHRISTOPHER, DAVID;LIMA, PAULO, EDURADO;GREEN, GORDON, ROBERT;TROWELL, ROBERT, KENNETH
分类号 H01J37/305;C23C14/46;H01J27/04;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/20;H01J37/317 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
主权项
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