发明名称 Method for repair of photomasks
摘要
申请公布号 EP0961168(B1) 申请公布日期 2009.04.08
申请号 EP19980303907 申请日期 1998.05.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GRENON, BRIAN J.;HAIGHT, RICHARD A.;HAYDEN, DENNIS M.;HIBBS, MICHAEL S.;LEVIN, PETER J.;NEARY, TIMOTHY E.;ROCHEFORT, RAYMOND A.;SCHMIDT, DENNIS A.;SMOLINSKI, JACEK G.;WAGNER, ALFRED
分类号 G03F1/00 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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