发明名称 DRY ETCHING GAS
摘要
申请公布号 EP1014433(B1) 申请公布日期 2009.04.08
申请号 EP19970911455 申请日期 1997.11.05
申请人 NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCEAND TECHNOLOGY;THE MECHANICAL SOCIAL SYSTEMS FOUNDATION;JAPAN ELECTRONICS AND INFORMATION TECHNOLOGY INDUSTRIES ASSOCIATION;ASAHI GLASS COMPANY LTD.;DAIKIN INDUSTRIES, LIMITED 发明人 SEKIYA, AKIRA;TAKAGAKI, TETSUYA;MORIKAWA, SHINSUKE;YAMASHITA, SHUNICHI;TAKAICHI, TSUYOSHI,;HIBINO, YASUO;FURUTAKA, YASUHISA;IWASAKI, MASAMI;OHTSUKA, NORIFUMI
分类号 C09K13/08;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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