发明名称 |
驱动有机发光二极管的薄膜晶体管及其制造方法 |
摘要 |
一种驱动有机发光二极管的薄膜晶体管,其包含基板、第一多晶硅岛、绝缘层、栅极金属层、具有滤光功能的介电层,以及导体层:该第一多晶硅岛形成在该基板之上;该绝缘层形成在该基板之上且覆盖该第一多晶硅岛;该栅极金属层形成在该绝缘层上;该具有滤光功能的介电层形成在该绝缘层之上且覆盖该栅极金属层,该介电层开设有数个接触孔,该等接触孔贯穿该介电层与该绝缘层;该导体层形成在该介电层之上,且经由该等接触孔分别与该第一多晶硅岛接触。 |
申请公布号 |
CN100477276C |
申请公布日期 |
2009.04.08 |
申请号 |
CN200510080490.1 |
申请日期 |
2005.07.05 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
吴永富;刘育荣;叶永辉 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/84(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
孙皓晨 |
主权项 |
1.一种薄膜晶体管,其特征在于,包含:一基板;一第一多晶硅岛,形成在该基板之上;一绝缘层,形成在该基板之上且覆盖该第一多晶硅岛;一栅极金属层,形成在该基板之上且覆盖该绝缘层上;一具有滤光功能的介电层,形成在该绝缘层之上且覆盖该栅极金属层,该介电层开设有数个接触孔,该数个接触孔贯穿该介电层与该绝缘层;以及一导体层,形成在该介电层之上,且经由该数个接触孔分别与该第一多晶硅岛接触。 |
地址 |
中国台湾 |