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发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR ISOLATED AND DISCRETIZED PROCESS SEQUENCE INTEGRATION
摘要
申请公布号 EP2044623(A2) 申请公布日期 2009.04.08
申请号 EP20070840397 申请日期 2007.07.12
申请人 INTERMOLECULAR, INC. 发明人 CHIANG, TONY, P.;ENDO, RICHARD, R.;TSUNG, JAMES
分类号 H01L21/677;B05D3/06;C23C14/56;C23C16/00;H01L21/20;H01L21/67;H01L27/12;H01L27/32;H01L29/49;H01L51/52;H01L51/56 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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